- 材質
- 本体:C3771B、ダイアフラム:CR、弁材:PCTFE、その他:C3604B、SUS304
- 質量(kg)
- 1.7
- 使用圧力(MPa)
- 二次側:0.2~0.99
- 使用温度(℃)
- ー10~+40(設計温度:ー10~+75)
- 接続
- 入口:W22-14山(右)袋ナット(P)、出口:M16×1.5(右)オネジ(Φ8ホースロ付)
- フィルター
- 粗さ:200メッシュ
- 使用ガス
- O2、N2、Ar、Air、He、H2
- 標準流量(m3/h)
- O2, N2,Ar,Air:45 H2,He: 90(P2=0.6MPa)
- 一次側圧力計(MPa)
- 25
- 一次側圧力(MPa)
- 2~15
- 二次側圧力計(MPa)
- 1.6
- 最大流量(m3/h)
- O2,N2,Ar,Air:55 H2.He:110(P2=0.6MPa)
- 内容量
- 1台