- 材質
- 本体：C3771B、ダイアフラム：CR、弁材：PCTFE、その他：C3604B、SUS304
- 質量(kg)
- 1.7
- 使用圧力(MPa)
- 二次側：0.2～0.99
- 使用温度(℃)
- ー10～+40(設計温度：ー10～+75)
- 接続
- 入口：W22-14山(右)袋ナット(P)、出口：M16×1.5(右)オネジ(Φ8ホースロ付)
- フィルター
- 粗さ：200メッシュ
- 使用ガス
- O2、N2、Ar、Air、He、H2
- 標準流量(m3/h)
- O2， N2，Ar，Air:45 H2，He: 90(P2=0.6MPa)
- 一次側圧力計(MPa)
- 25
- 一次側圧力(MPa)
- 2～15
- 二次側圧力計(MPa)
- 1.6
- 最大流量(m3/h)
- O2，N2，Ar，Air:55 H2.He:110(P2=0.6MPa)
