ウェハーシングル搬送容器

ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。
アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。
積層高さもコンパクトです。
低汚染を追求した材質で製造されています。
トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。
SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。
SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。