基板の材質や厚さとコーティングの条件を最適化することで、高面精度のミラーを実現しました。コーティング後の面精度λ/10を保証しています。
従来品の誘多膜平面ミラー(TFM)より、高い面精度(コート後)が得られています。基板に合成石英を用い、基板の厚さを厚くすることで、基板の剛性が高くなっています。紫外レーザやYAGレーザの各波長に対応した高反射率のミラーをラインナップしています。ホルダーにミラーを接着し、面精度を保証したHTFM-MHGも用意しています。※誘電体多層膜は入射ビームの偏光状態により反射率波長特性が変わります。※P偏光はS偏光に比べて反射率が低く、反射帯域も狭くなります。※仕様の反射率は、P偏光とS偏光の反射率の平均値で表しています。※入射角度45°以外で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。※適応波長以外の波長で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。※面精度保証データは製品には添付されません。
