商品豆知識
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G(PF) 1/4(33)
G(PF) 3/8(66)
G(PF) 1/2(18)
R(PT) 1/4(13)
R(PT) 3/8(11)
R(PT) 1/2(9)
T3/8(9)
U3/8(18)
U1/2(12)
U.S1/2(6)
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圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状縁なし形(A型)
材質(ねじ部)BS(一般用)
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状縁なし形(A型)
精度1.6
材質(ねじ部)BS(一般用)
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状丸縁形(B型)
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状丸縁形(B型)
精度1.6
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状埋込形(D型)
精度1.6
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状埋込形(D型)
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
性能蒸気用耐震形
形状縁なし形(A型)
材質(ねじ部)BS(一般用)
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
性能蒸気用耐震形
形状丸縁形(B型)
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
このマイクロスイッチ付圧力計は、圧力によって変位するブルドン管またはベローズの先端がマイクロスイッチを作動させON-OFFの電気信号を発するもので警報または制御用に使用するものです。電気容量の大きなマイクロスイッチを使用しており大容量の負荷に使用が可能で指示と接点用エレメントが別になっているため接点後の指示遅れはありません。マイクロスイッチの寿命は定格の場合50万回以上です。
測定流体気体及び液体
接続形状T
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
JIS B 7505 ブルドン管圧力計規格に基づいて製作される基本圧力計です。
用途蒸気に対応しています。耐久性にも優れています。
トラスコ品番564-1775
材質外枠材質：SPC・黒塗装
ケース形状A枠立型
接続ねじG3/8
大きさ100
1個
￥2,898
税込￥3,188
当日出荷
熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
成膜中の温度特性に優れる
レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
仕様●発振周波数：6MHz●電極材質：Au(金)●電極表面：標準仕上げ●外径寸法：Φ14●対応成膜コントローラ：CRTMシリーズ全般●用途：メタル膜、光学膜●塔載可能センサ：CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て●入数：12枚1組
アズワン品番67-6870-71
大気圧を含む低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
ケーブル長(m)測定子：5
出力電圧(V)レコーダー：DC0～10 LOG出力
電源電圧(V)DC24・AC100～240(ACアダプタ使用時)
測定子接続可能：1本/1pc
このマイクロスイッチ付圧力計は、圧力によって変位するブルドン管またはベローズの先端がマイクロスイッチを作動させON-OFFの電気信号を発するもので警報または制御用に使用するものです。
電気容量の大きなマイクロスイッチを使用しており大容量の負荷に使用が可能で指示と接点用エレメントが別になっているため接点後の指示遅れはありません。
マイクロスイッチの寿命は定格の場合50万回以上です。
測定流体気体及び液体
接続形状T
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
このマイクロスイッチ付圧力計は、圧力によって変位するブルドン管またはベローズの先端がマイクロスイッチを作動させON-OFFの電気信号を発するもので警報または制御用に使用するものです。
電気容量の大きなマイクロスイッチを使用しており大容量の負荷に使用が可能で指示と接点用エレメントが別になっているため接点後の指示遅れはありません。
マイクロスイッチの寿命は定格の場合50万回以上です。
測定流体気体及び液体
接続形状T
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
圧力指示針と設定針の接触によって回路を閉じる方式。
ベル、ブザー、ランプの点滅等の警報用に使用されます。
指示目盛に設定針を設定する方式なので精密な設定が可能。
他の接点付圧力計に比べ接断差が非常に少ないです。
接点材料は、白金-白金を使用しています。
設定は目盛角(270°)全目盛範囲にわたって可変です。
接点上下限2接点
測定流体気体及び液体
接続形状U
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
圧力指示針と設定針の接触によって回路を閉じる方式。
ベル、ブザー、ランプの点滅等の警報用に使用されます。
指示目盛に設定針を設定する方式なので精密な設定が可能。
他の接点付圧力計に比べ接断差が非常に少ないです。
接点材料は、白金-白金を使用しています。
設定は目盛角(270°)全目盛範囲にわたって可変です。
測定流体気体及び液体
接続形状U
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
圧力指示針と設定針の接触によって回路を閉じる方式。
ベル、ブザー、ランプの点滅等の警報用に使用されます。
指示目盛に設定針を設定する方式なので精密な設定が可能。
他の接点付圧力計に比べ接断差が非常に少ないです。
接点材料は、白金-白金を使用しています。
設定は目盛角(270°)全目盛範囲にわたって可変です。
接点上下限2接点
測定流体気体及び液体
接続形状U
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
圧力指示針と設定針の接触によって回路を閉じる方式。
ベル、ブザー、ランプの点滅等の警報用に使用されます。
指示目盛に設定針を設定する方式なので精密な設定が可能。
他の接点付圧力計に比べ接断差が非常に少ないです。
接点材料は、白金-白金を使用しています。
設定は目盛角(270°)全目盛範囲にわたって可変です。
測定流体気体及び液体
接続形状U
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
ハンドヘルド型の真空データロガー。真空チャンバーに直接入れて測定・データロギングすることが可能。測定データはメモリー機能で2000個まで保存可能、USB経由でパソコンにも保存できます。
用途現場などでの真空測定やデータロギング
取扱説明書英語版(1.49MB)
1個
￥159,800
税込￥175,780
31日以内出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)DC20～28
出力DC0-10V
表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
電源電圧(V)100～240
取合フランジNW25
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
仕様SWT-16(NW16)・SWT-25(NE25)、ピラニ真空計(0.5mケーブル付き)、大気圧センサ(0.5mケーブル付き)
出力(測定値)出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
使用温度範囲ST200-A(10～50℃)
精度(測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)
表示器SWU10-R
測定子電離真空計測：ISG1、ピラニ測：SAU(NW16)
外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5
JIS B 7505-1ブルドン管圧力計規格に基づいて、設計製作しました圧力計です。
型式承認を受けた商品であり、検定を受ける事ができます。
ケーシングは、電着塗装を施している為、耐久性が優れています。
トラスコ品番838-3513
質量(g)485
種類一般真空計
ツバ径(Φmm)128
材質(ケース)SPC
測定流体気体、液体
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
1個
￥4,998
税込￥5,498
5日以内出荷
JIS B 7505-1ブルドン管圧力計規格に基づいて、設計製作しました圧力計です。
型式承認を受けた商品であり、検定を受ける事ができます。
ケーシングは、電着塗装を施している為、耐久性が優れています。
トラスコ品番838-3482
ケース形状D枠(埋込型つば有り)
質量(g)395
種類一般真空計
ねじ径G3/8B
ツバ径(Φmm)98
外径(Φmm)75
精度±1.6%F.S.
材質(ケース)SPC
測定流体気体、液体
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥3,998
税込￥4,398
6日以内出荷
JIS B 7505-1ブルドン管圧力計に基づく密閉形圧力計で、主として屋外や雰囲気の悪い場所でのご使用に適しています。
仕様屋外用
トラスコ品番838-3638
ケース形状A枠(立型つば無し)
質量(g)390
種類密閉形真空計
ねじ径G3/8B
外径(Φmm)100
精度±1.6%F.S.
材質(ケース)ABS樹脂
測定流体気体、液体
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥7,998
税込￥8,798
4日以内出荷
耐久性に優れています。
耐振性を向上させています。
流体の脈動に強いです。
JIS B 7505-1規格品です。
トラスコ品番325-9528
ケース形状A枠(立型つば無し)
質量(g)180
種類一般真空計
ねじ径G1/4B
呼びAVT1/4×60×-0.10MPa
外径(Φmm)60
精度±1.6%F.S.
材質(ケース)SPC
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.005
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥2,998
税込￥3,298
7日以内出荷
圧力の瞬時変化の割合が、1秒間当たり全圧力の3%を超えない定圧力の測定用として空気、水、油等の計測に用いられます。規格についてはJIS B 7505-1ブルドン管圧力計に準拠しております。
トラスコ品番308-3942
ケース形状B枠(立型つば有り)
質量(g)470
種類汎用真空計
ねじ径G3/8B
呼びBT3/8×100×-0.10MPa
外径(Φmm)100
精度±1.6%F.S.
材質(ケース)SPC
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥2,198
税込￥2,418
5日以内出荷
圧力の瞬時変化の割合が、1秒間当たり全圧力の3%を超えない定圧力の測定用として空気、水、油等の計測に用いられます。規格についてはJIS B 7505-1ブルドン管圧力計に準拠しております。
トラスコ品番308-3811
ケース形状B枠(立型つば有り)
質量(g)330
種類汎用真空計
ねじ径G3/8B
呼びBT3/8×75×-0.10MPa
外径(Φmm)75
精度±1.6%F.S.
材質(ケース)SPC
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥2,198
税込￥2,418
5日以内出荷
仕様封入液：シリコン
ケース形状A型
精度±1.6% F.S / 温度 20℃±10℃
材質(ケース)樹脂ねじ蓋ケース
材質(ガスケット)テフロン
材質(フランジ)上：S25C(Crメッキ)、下：SUS304
材質(ダイヤフラム)SUS316L
圧力範囲(MPa)-0.1～0
ダイヤフラム径(Φmm)76
校正証明書付き
仕様封入液：シリコン
材質(ケース)樹脂ねじ蓋ケース
材質(ガスケット)テフロン
材質(フランジ)上：S25C(Crメッキ)、下：SUS304
材質(ダイヤフラム)SUS316L
ダイヤフラム径(Φmm)76
校正証明書付き
JIS B 7505-1ブルドン管圧力計に基づく密閉形圧力計で、主として屋外や雰囲気の悪い場所でのご使用に適しています。
仕様屋外用 成績付
質量(g)390
種類密閉形真空計
材質(ケース)ABS樹脂
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
1個
￥13,980
税込￥15,378
5日以内出荷
JIS B 7505-1ブルドン管圧力計規格に基づいて、設計製作しました圧力計です。
型式承認を受けた商品であり、検定を受ける事ができます。
ケーシングは、電着塗装を施している為、耐久性が優れています。
仕様成績付
ケース形状A枠(立型つば無し)
質量(g)180
種類一般真空計
ねじ径G1/4B
外径(Φmm)60
精度±1.6%F.S.
材質(ケース)SPC
材質(株)C3604BD
最小目盛(MPa)-0.002
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥8,598
税込￥9,458
5日以内出荷
RoHS
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15～48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
仕様セットポイント：0、1、2 (モデルによる)、過圧限界：10bar、デッドボリューム：3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
材質真空接触部：タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)
質量(g)130
フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
規格CE、UKCA
出力シリアル：RS232またはRS485
ケーブル長(m)100
温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触)：150
寸法A(mm)37
精度大気圧～100hPa ±50%100hPa～1×103hPa ±15%1×103hPa～5×10-4hPa ±50%
寸法B(mm)52
寸法C(mm)11
範囲1.8～9.2V
アナログ出力0～10
再現性(%)100～1×103hPaの間で読み値の2
保護等級40
インターフェースワンプッシュ式
測定範囲(hPa)大気圧～5×104(大気圧～3.75×10-4torr)
保護機能内蔵フィルター
コネクタ電気：RJ45/9ピンD-sub
保管温度(℃)-30～70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料APG200データシート(0.82MB)
インジケータステータス：360°高輝度LEDリング
動作温度範囲(℃)5～60°
供給電圧(V)直流15～48
相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
対応ソフトウェアLabviewドライバー
接点定格直流48V (最大) 500mA
コントローラ互換性：TIC/ADC/TAG
1個
￥89,980
税込￥98,978
92日以内出荷
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、1A
測定範囲1×10-8Pa ～ 0.1Pa
電圧(V)3k～500(バイアス/最適制御)
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0～10V × 2ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
材質ピラニ：Ni、ピラニ温度計：Pt100、BA フィラメント：Y-lr、グリッド：Pt-Mo、コレクタ：Pt-Mo
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、0.8A
測定範囲1×10-8Pa～1.2×105Pa
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様●タフモード：測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス：グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
出力圧力信号：0～10V×1ch
圧力単位Pa/Torr/mbar
LCDディスプレイにデジタル・アナログ値を同時に表示します。
表示単位はmbar・Torr・hPaを選択できます。
校正証明書一般校正
測定範囲1～1060hPa(mbar)
測定精度<1mbar±1digit
表示アナログ・デジタルLCD表示
表示単位mbar・hPa(真空)
測定周期(秒)1
最高許容圧力(MPa)0.15(1.5bar)
最高温度(℃)80(気体/短時間)
接続小フランジ NW16、ホースノズル外径Φ8mm・12mm(交換式 標準付属)
電池9Vアルカリ乾電池(テスト用付属)
仕様圧力変換器：電気容量式/セラミック製ダイアフラム
アズワン品番1-5118-01-56
1台
￥199,800
税込￥219,780
9日以内出荷
圧力計 の新着商品
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