真空計

ユーザビリティ向上：パソコン / スマートフォン接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。大気圧から低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。JCSS校正も可能です。

半導体圧力センサを用いたデジタル真空計です。環境への配慮やガラス管の破損による飛散事故など、水銀式計器の抱えるリスクから解放されます。 U字型真空計と同等以上の測定範囲と分解能を持ち、また表示も読み取りやすいデジタル液晶なので、U字型真空計の代替としても適しています。

大気圧から高真空まで広範囲の圧力を測定可能な真空計です。

気体の熱伝導を利用した広領域計測可能な熱伝導真空計です。センサフィラメントをマイクロ化(コイル状)することにより、耐振動・耐衝撃に対して優れています。センサフィラメントを高温で加熱し、油分等の付着物を除去したり、洗浄できるフラッシング機能を搭載しています。付属のソフトウェアを用いて、計測値の表示・データ保存、上下限出力の設定、ゼロ点補正、スパン点補正を行うことができます。オプションのセンサケーブルを使用し、表示器一体型から表示器分離型にすることができます。

異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。 コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能 ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定 世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現 フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時) 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

軽量コンパクトです(本体重量 ： 約350g、 本体寸法 ： 96W×96H×46.7mm)。センサフィラメントのマイクロ化により耐衝撃・耐振動に優れています。接点出力により圧力コントロールへの応用が可能です型式構成。測定器本体とセンサ間のデジタル接続により、センサ交換やセンサケーブル長による測定値への影響はありません。移動平均機能で圧力変動の激しい測定にも対応出来ます

測定範囲が0.1～101.3kPaで広範囲です。NMV-104Cのセンサ受圧素子はSUS316Lのため耐食性に優れています。読み取りやすいデジタルLED表示です。レコーダ出力0-1Vを標準装備しています。小型・軽量でゴム足付です。持ち運んで使用、卓上使用に最適です。計測ソフトウェアもご用意出来ます。(オプション)。モバイル電源でも駆動します。(オプション)

このマイクロスイッチ付圧力計は、圧力によって変位するブルドン管またはベローズの先端がマイクロスイッチを作動させON-OFFの電気信号を発するもので警報または制御用に使用するものです。電気容量の大きなマイクロスイッチを使用しており大容量の負荷に使用が可能で指示と接点用エレメントが別になっているため接点後の指示遅れはありません。マイクロスイッチの寿命は定格の場合50万回以上です。

大気圧を含む低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。

マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。

コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。 また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。 今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。

複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。 これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。 ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。 またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。

LCDディスプレイにデジタル・アナログ値を同時に表示します。 表示単位はmbar・Torr・hPaを選択できます。

耐薬品性に優れたアルミナセラミックス製の圧力センサを内蔵した、表示部一体型のコンパクトなデジタル真空計です。 表示部およびタッチパネル部にはガラスを採用。筐体も耐薬品素材を使用しています。 VACUU・VIEW extended は、静電容量式センサとピラニー式センサの両方を内蔵し、ワイドレンジの測定が可能です。

LCDディスプレイにデジタル・アナログ値を同時に表示します。表示単位はmbar・Torr・hPaを選択できます。

接液部はすべてフッ素樹脂で、ほとんどの腐食流体、高純度流体に使用できます。用途：半導体関係・薬品関係・医療機器関係・化学工業関係・食品関係・塗装関係・高純度流体

1.0×10^-2～1.0×10^4Paの広い測定範囲です。故障に強い定温度型です。大型デジタル画面で見やすいです。小型ボディで省スペース化が可能です。

測定レンジがHiレンジとLoレンジから選択できます。受圧素子がSUS316Lのため耐食性に優れています。センサは互換性がありセンサのみの交換が可能です。

Edwardsのアクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージ(ASG2)は堅牢で耐食性に優れたダイヤフラム ゲージであり、100，000 Pa～100 Paの範囲でガスに依存しない精度の高い測定が可能です。 アクティブ ストレイン(ひずみ)ゲージは、大気圧に近い圧力の高精度でガスに依存しない測定が必要な場合に適しており、ロード ロックなどの用途に最適です。 独立したトランスデューサとして使用できるため、OEMやシステム ビルダーはそれぞれの真空計測のニーズに合ったフレキシブルなソリューションを低コストで開発できます。 また、このゲージをTICインスツルメント コントローラに接続することもできるため、他のさまざまなセンサと組み合わせることにより、完全な真空計測ソリューションを構築できます。

センサー内蔵・表示部一体型のコンパクトサイズです。耐薬品性に優れたセラミックス製センサーを使用しています。見やすい発光型ディスプレイです。VIEW extendedは、静電容量式センサーとピラニー式センサー両方を内蔵しており、大気圧から0.001hPaまでワイドレンジの測定が可能です。

●コンパクトなアルカリ電池内蔵タイプです。●自動電源OFF機能を搭載しています。●耐薬品性に優れたアルミナセラミックス製静電容量式センサーを採用しています。

回転式マクラウド真空計は、測定部分を金属ケースで覆い、測定部分を回すことによって毛細管部の残留気体を圧縮し、その生じた圧力、液柱差によって真空度を測定する真空計です。 ガスの種類に関係なく絶対圧力を測定でき、また、低～中真空の範囲を正確に測定できます。

多様な用途に対応可能な多機能、高精度の電離真空計です。 外部からのコントロールをはじめ、通信機能、BCD出力等オプション機能を充実させ、各種制御、FA化に貢献します。

フィラメントの断線がなく、高真空領域での確実な放電を実現する放電監視機能を標準装備。 キー操作で取り扱いやすくデジタルとバーグラフで圧力状態を表示し、放電停止時など各種メッセージにより動作状態を確認できる安心機能付です。