2ページ目: 真空ポンプ・真空ユニット

オイルレスのため真空、加圧使用時に環境を汚しません。 1台のポンプで加圧・真空に使用でき、大変便利です。

特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。

N820/840G-KNは排気速度調整ノブにより簡単に排気速度を調整できます。

DCブラシレスモータを使用した真空ポンプ/コンプレッサ兼用ポンプです。 ツインヘッドのダイアフラム方式を採用し小型でも高寿命・高圧力・低振動・低丈・メンテナンスフリー・無給油を実現しました。 より信頼性を必要とする医療器、分析器などの機器組込み用のエア源・真空源として最適です。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

高次元のスペックと堅牢なパーツを使用したフラッグシップモデル。最高レベルの性能と高品質を詰め込んだ大型機器対応のプロフェッショナルモデル。到達真空度0.7Pa(5ミクロン)を実現した超高真空モデル。軽量かつ高効率なブラシレスDCモーター搭載。運転停止時のオイルの逆流を防止するオイル逆流防止機能付き。ボールバルブ式でオイルの排出が簡単。大型サイトグラスでオイルレベルが簡単に視認可能。

様々な現場でパフォーマンスを発揮するスタンダードモデル。高い真空性能と信頼性のある2ステージローターを搭載。運転停止時のオイルの逆流を防止するオイル逆流防止機能付き。強制的にオイルを循環し、高効率と高耐久性を両立。

GLS-051/GLD-051/GCD-051X用のベーンスプリングです。

DTC-41/DTC-41K用の排気弁です。

高次元のスペックと堅牢なパーツを使用したフラグシップモデル。到達真空度0.7Pa(5ミクロン)を実現。大型サイトグラスでオイルレベルが簡単に視認可能。

ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。DOP試験の結果が99.999%という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。

真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです

驚異の長寿命バッテリ搭載 フル充電で50分稼動! コードレスで電源不要。電源のない場所での使用に便利。 バッテリが切れ、停止してもオイル逆流防止弁ボールバルブで確実にオイルを遮断。 軽量・小型 小型で軽量なので持運びラクラク。 バッテリ 国内最長のバッテリ寿命。18V容量5.0Ahのリチウム電池で約50分の連続運転が可能。電池容量が少なくなったら、ブザーでお知らせ。 バッテリの充電状態や使用条件により、使用時間は異なります。 金属メッシュフィルタ内臓 オイルミストの飛散を防止。 バルブ付きドレン オイル交換が容易なバルブ付きドレン。

DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。 マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。 ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。 ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。

オイルは使用前にわずか数滴吸引するだけ。 新設配管の新規据付け作業用に限定してご使用下さい。

逆流防止機能付。