真空一定装置 バキュームコントローラ

センサ・電磁弁・バルブを一体化しているので、外部に制御機器を準備する必要がありません。
リーク機構の利用により、ガス圧の制御にも最適です。
調整用バルブを内蔵しているので、容器・ガス供給回路・真空ポンプの大きさに応じた微調整が可能です。
大容量の容器にも対応可能なセンサ分離型、及び腐食性ガスにも対応可能な耐腐食性タイプもあります。
センサには互換性があります。センサのみの交換も可能です。