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エコロジープロダクト
8mm×8mm Si シリコン 研究用ダイシング チップ 角基板
アズワン￥11,020～税込￥12,122～1箱(20枚)ほか14日以内出荷から15日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。25mm×35mm Si シリコン 研究用ダイシング チップ 角基板
アズワン￥16,480～税込￥18,128～1箱(20枚)ほか14日以内出荷から15日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。20mm×30mm Si シリコン 研究用ダイシング チップ 角基板
アズワン￥16,480～税込￥18,128～1箱(20枚)ほか14日以内出荷から15日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。20mm×20mm Si シリコン 研究用ダイシング チップ 角基板
アズワン￥14,529～税込￥15,982～1箱(20枚)ほか当日出荷から5日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。寸法(mm)20×20抵抗≦0(低抵抗)方位【面】100ウェハー厚(μm)300～1000
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N プロダクショングレード
TanKeBlue￥159,800税込￥175,7801枚5日以内出荷高品質の単結晶SiCウェハ仕様●結晶タイプ： 4H-SiC●導電型/ドーパント： Nタイプ、窒素●グレード： プロダクション●直径： 149.5mm～ 150.0mm (6インチ)●厚さ： 350 μm±25 μm●オフ角度： ＜11-20 ＞に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD)： 2 個/cm-2 以下●比抵抗値： 0.015～0.024Ω-cm●オリフラ： {10-10} ±5.0°、長さ47.5 mm ± 2.0 mm●エッジ除外領域(EE)： ウェハ端から3mm●反り： LTV≦2.5μm、TTV≦6μm、BOW≦25μm、WARP≦35 μm●表面仕上げ： 両面CMP (Si面 Ra≦0.2 nm)●エッジクラック： 無●結晶多形： 無●エッジチッピング： 幅かつ長さ0.2mm以上のものは無●レーザーマーク： C面(裏面)側に有り●梱包形態： シングルウエハケースに1枚毎に梱包材質炭化ケイ素グレードプロダクション仕上CMPアズワン品番68-4088-75研磨内容両面CMP単結晶SiCアズスライスウエハ 6インチ・4H-N ダミーグレード
TanKeBlue￥95,980税込￥105,5781枚6日以内出荷高品質の単結晶SiCアズスライスウエハ仕様●結晶タイプ： 4H-SiC●導電型/ドーパント： Nタイプ、窒素●グレード： ダミーグレード●直径： 149.5mm～ 150.0mm (6インチ)●厚さ： 450 μm±15 μm●レーザーマーク： C面(裏面)側に有り●梱包形態： シングルウエハケースに1枚毎に梱包アズワン品番68-4088-76
単結晶SiCウェハ 8インチ・4H-N ダミーグレード
IV-SemiteC￥949,800税込￥1,044,7801枚5日以内出荷高品質の単結晶SiCウェハ仕様●結晶タイプ： 4H-SiC●導電型： Nタイプ●グレード： ダミー●直径： 200.0mm ± 0.2mm (8インチ)●厚さ： 500 μm±25 μm●オフ角度： [11-20]に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD)： 10 個/cm-2 以下●比抵抗値： 0.015～0.028Ω-cm (75%面積)●ノッチ方位： [1-100]±5.0°、深さ 1.0～1.5mm●面方位： {0001}± 0.2°●反り： LTV≦10μm(10*10mm2)、TTV≦15 μm、BOW≦65μm、WARP≦70 μm●表面仕上げ： 両面CMP、Si面Epi Ready (Si面 Ra≦0.5 nm)●エッジクラック： N/A●結晶多形： 累積面積≦5%●エッジチッピング： N/A●レーザーマーク： C面(裏面)側に有り●梱包形態： シングルウエハケースに1枚毎に梱包材質炭化ケイ素グレードダミー仕上CMPアズワン品番68-4088-78
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N ダミーグレード
IV-SemiteC￥119,800税込￥131,7801枚6日以内出荷高品質の単結晶SiCウェハ仕様●結晶タイプ： 4H-SiC●導電型/ドーパント： Nタイプ、窒素●グレード：ダミーグレード●直径： 150.0mm± 0.2mm (6インチ)●厚さ： 350 μm±25 μm●オフ角度： [11-20]に対して4°±0.5°●マイクロパイプ密度(MPD)： 2 個/cm2 以下●比抵抗値： 0.015～0.028Ω-cm●オリフラ： // [11-20] ± 5.0°、長さ47.5 mm ± 2.0 mm●エッジ除外領域(EE)： ウェハ端から3mm●反り： LTV≦5μm、TTV≦15 μm、BOW≦40μm、WARP≦60 μm●表面仕上げ： 両面CMP、Si面Epi-ready (Si面Ra≦0.2 nm、C面Ra≦0.5 nm)●エッジクラック： N/A●結晶多形： 累積面積≦5%●エッジチッピング： 2 個以下、各々1mm 以内●XRD半値幅： ≦60 arcsec●表面パーティクル： 0.3μm ≦30個●表面金属不純物： Al/Cr/Fe/Ni/Cu/Zn/pb/V/Mn/NA/Ca/K/Mg≦5E10atoms●レーザーマーク： C面(裏面)側に有り●梱包形態： シングルウエハケースに1枚毎に梱包アズワン品番68-4088-73
8インチ石英ウェハ 両面ポリッシュ研究用 25枚入
アズワン￥181,000～税込￥199,100～1箱(10枚)ほか36日以内出荷から42日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
8インチSICウェハ 研究用
アズワン￥343,400税込￥377,7401箱(1枚)4日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。仕様●グレード：ダミーグレード●タイプ：4H●Surface orientation error：＜11-20＞4±0.5 °●ドーパント：N型 Nitrogen●抵抗率：0.015～0.025 ohm・cm●直径：200.0±0.2mm●厚み：500±25 μm●主要ノッチ方位：[1-100]±5 °●主要ノッチ深さ：1-1.5 mm●セカンドオリフラ：None●LTV：≦10(10mm×10mm)μm●TTV：≦15μm●Bow：0±65μm●Warp：≦70μm●(AFM)Front(Si-face)Roughness：Ra≦0.2 nm●マイクロパイプ：≦50ea/cm●金属不純物：NA●TED：NA●BPD：NA●TSD：NA●＜表面状態＞●フロントサイド：Si●面状態：Si-face CMP●パーティークル：NA●スクラッチ：NA●＜裏面状態＞●面状態：C-face polished●スクラッチ：NA ea/mm●裏面粗さ：Ra≦5 nm●レーザーマーク：On●エッジ：Chamfer●Notes："NA" =不問。Items not metioned may refer to SEMI-STD●数量：1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。アズワン品番67-3018-456インチ石英ウェハ 両面ポリッシュ研究用 25枚入
アズワン￥145,250～税込￥159,775～1箱(25枚)32日以内出荷から42日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
6インチLN/LTウェハ 研究用
アズワン￥45,600～税込￥50,160～1枚ほか25日以内出荷から27日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。仕様●6インチLNウェハ●結晶方位：Y127°●厚み：350±25μm●面状態：両面ポリッシュ●数量：1枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
6インチ JEIDA シリコンウェハ 研究用 100
アズワン￥47,350～税込￥52,085～1箱(1枚)ほか当日出荷から33日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。4インチ石英ウェハ 両面ポリッシュ研究用 25枚入
アズワン￥101,400～税込￥111,540～1箱(25枚)29日以内出荷から42日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。4インチシリコンウェハ 研究用
アズワン￥26,980～税込￥29,678～1箱(5枚)ほか当日出荷から28日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。長さ(mm)【OF】32.5±2.5サイズ4インチシリコンウェハ直径(Φmm)100±0.2位置【OF】11012インチシリコンウェハ 研究用 100 両面ミラーDF品
アズワン￥78,600～税込￥86,460～1箱(1枚)ほか4日以内出荷から32日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
単結晶基板 LSAT基板 片面鏡面 方位 100 10×10×0.5mm 1枚
クリスタルベース￥58,980税込￥64,8781枚6日以内出荷超電導体薄膜基板として使用されています。寸法(mm)10×10×0.5アズワン品番66-0002-99方位-100研磨片面鏡面
単結晶基板
クリスタルベース￥95,980税込￥105,5781箱(10枚)5日以内出荷汎用的な成膜用基板として使用されています。サイズΦ2inch×0.43mm精度方位：(0001)±0.5°アズワン品番3-4953-67方位C(0001)、面内：[11-20] オリフラ付研磨片面鏡面
単結晶基板 天然マイカ基板(V-1グレード)
クリスタルベース￥34,980～税込￥38,478～1箱(10枚)ほか6日以内出荷天然白雲母です。成膜用基板やAFM観察用などに使用されています。最高グレードです。 透明度が高く、結晶性が良好、平坦度も高いため、AFM(原子間力顕微鏡)やSPM(走査型プローブ顕微鏡)の観察試料として適しています。
単結晶基板 天然マイカ基板(V-1グレード)
クリスタルベース￥129,800税込￥142,7801箱(50枚)6日以内出荷天然白雲母です。成膜用基板やAFM観察用などに使用されています。最高グレードです。 透明度が高く、結晶性が良好、平坦度も高いため、AFM(原子間力顕微鏡)やSPM(走査型プローブ顕微鏡)の観察試料として適しています。仕様●仕様：天然マイカ基板●サイズ：20×20×0.15mm●グレード：V-1グレード●研磨：劈開●入数：1箱(50枚入)材質白雲母厚さ(mm)ウェハー：0.15グレードV-1アズワン品番65-8866-98
単結晶基板 天然マイカ基板(V-1グレード)
クリスタルベース￥29,980税込￥32,9781箱(10枚)6日以内出荷天然白雲母です。成膜用基板やAFM観察用などに使用されています。最高グレードです。 透明度が高く、結晶性が良好、平坦度も高いため、AFM(原子間力顕微鏡)やSPM(走査型プローブ顕微鏡)の観察試料として適しています。仕様●仕様：天然マイカ基板●サイズ：15×15×0.15mm●グレード：V-1グレード●研磨：劈開●入数：1箱(10枚入)アズワン品番65-8866-95
単結晶基板 天然マイカ基板(V-1グレード)
クリスタルベース￥34,980～税込￥38,478～1箱(10枚)5日以内出荷から6日以内出荷。天然白雲母です。成膜用基板やAFM観察用などに使用されています。最高グレードです。 透明度が高く、結晶性が良好、平坦度も高いため、AFM(原子間力顕微鏡)やSPM(走査型プローブ顕微鏡)の観察試料として適しています。
3インチ シリコンウエハー P型(100)
グローバル・トップ・ケミカル￥68,980税込￥75,8781箱(25枚)8日以内出荷装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)用途装置テスト用、ダミー(モニター用)仕様パーティクル：0.3μm≦20、導電型：P型、製造：CZサイズ3インチ直径(Φmm)76±0.5厚さ(μm)380±25仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ抵抗値≧1Ωcm方位面：1004インチ シリコンウエハー ノンドープ(100) 抵抗値 1000Ω
グローバル・トップ・ケミカル￥189,800税込￥208,7801箱(25枚)15日以内出荷装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)用途装置テスト用、ダミー(モニター用)仕様パーティクル：0.3μm≦10、導電型：ノンドープ、製造：FZ材質シリコンサイズ4インチ直径(Φmm)100±0.5厚さ(μm)525±20仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ抵抗値≧1000Ωcm製造方法FZ法方位面：100
12インチシリコンウェハ 研究用(100)両面ミラーDF品
アズワン￥193,000～税込￥212,300～1箱(1枚)ほか12日以内出荷から27日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。8インチシリコンウェハ 研究用(100)
アズワン￥99,900～税込￥109,890～1箱(1枚)ほか4日以内出荷から27日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。6インチ(JEIDA)シリコンウェハ 研究用(100)
アズワン￥52,100～税込￥57,310～1箱(1枚)ほか5日以内出荷から28日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
洗浄用キャリア(オールフッ素樹脂) STFシリーズ
アズワン￥296,999税込￥326,6991個48日以内出荷仕様サイズ(mm)：40×34×15/150 仕様：テフロン溶接タイプ 材質：本体・ハンドル/PFE、メッシュ/ETFE、ネジ/PTFE 適応ワークサイズ(mm)：10角 適応ワーク厚み(mm)：0.4～1.0 ワーク収納数：20枚収納数20枚アズワン品番3-7625-29
12インチシリコンウェハ 研究用(100)両面ミラーDF品
アズワン￥86,300～税込￥94,930～1箱(1枚)ほか15日以内出荷から27日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。6インチ(JEIDA)シリコンウェハ 研究用(100)
アズワン￥52,100～税込￥57,310～1箱(1枚)ほか5日以内出荷から28日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。6インチ(SEMI)シリコンウェハ 研究用(100)
アズワン￥50,700～税込￥55,770～1箱(1枚)ほか5日以内出荷から28日以内出荷研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
![2インチINPウェハ 研究用[S-C-N/S 100 ]片面ポリッシュ アズワン](http://jp.images-monotaro.com/Monotaro3/pi/full/mono84411935-241017-02.jpg)
![15×15mm Si シリコン 研究用[P 100 ，1-100Ω]ダイシング チップ 角基板 アズワン](https://jp.images-monotaro.com/Monotaro3/pi/middle/mono05087261-241204-02.jpg "15×15mm Si シリコン 研究用[P 100 ，1-100Ω]ダイシング チップ 角基板 アズワン")
