5ページ目: ウェハー/特殊ケース

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

様々なチップ部分の工程内用、出荷用ケースに適しています。

取り出しやすく、積み重ねもできます。

トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。

トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

容器内部の伸縮膜により保管物がしっかり固定され、保管物同士の接触による傷や輸送中の破損を防ぎます。 突起状のものでも使用可能です。

ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。 他サイズも対応可能です。 導電性能106以下です。

ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。 8インチ以下も対応可能です。 導電性能106以下です。

ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。 他サイズも対応可能です。

ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。 8インチ以下も対応可能です。

ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。 他サイズも対応可能です。

ウェハーを重ねて搬送・保管する際の合紙。 8インチ以下も対応可能です。

本体・フタ共に導電性ABS製。シリコンパッキン付で気密性に優れています。本体とフタは横にスライドして簡単に脱着できる機構で、洗浄が容易に行えます。積み重ねて場所を取らずに保管ができます。

導電性ABS製の本体と、制電性ABS製のフタの組合せ。フタが透明なので、内容物の確認が行えます。シリコンパッキン付で気密性に優れています。本体とフタは横にスライドして簡単に脱着できる機構で、洗浄が容易に行えます。積み重ねて場所を取らずに保管ができます。

磁性薄膜用基板などに使用されています。

磁性薄膜用基板などに使用されています。

耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。厚みのあるウエハが収納出来ます。

開口部が広く洗浄、水切れ、乾燥効果を高めています。

耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。

超電導用基板などに使用されています。

超電導用基板などに使用されています。

天然白雲母です。成膜用基板やAFM観察用などに使用されています。

各種成膜用基板として使用されています。

超電導用や燃料電池用基板などとして使用されています。

磁性薄膜用基板などに使用されています。

フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。 主要部分には導電化材料を使用しています。 本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。

ワンハンドで、ホールド・持ち運びができます。

SCC(超純水洗浄し、クリーンパック)した商品です。

99.99%以上の高純度Al2O3を採用した単結晶サファイア基板です。高精度な研磨仕上げ(Ra<0.2 nm)を行っており高い表面均一性を実現しています。耐熱性・耐薬品性に優れ高温プロセスや化学処理にも対応しています。クラス100環境で洗浄・包装されコンタミネーションリスクを最小化したパッキングです。片面研磨と両面研磨の2種類をご用意しております。