6ページ目: ウェハー/特殊ケース

99.99%以上の高純度Al2O3を採用した単結晶サファイア基板です。高精度な研磨仕上げ(Ra<0.2 nm)を行っており高い表面均一性を実現しています。耐熱性・耐薬品性に優れ高温プロセスや化学処理にも対応しています。クラス100環境で洗浄・包装されコンタミネーションリスクを最小化したパッキングです。片面研磨と両面研磨の2種類をご用意しております。

多枚数(25枚)のウェハーを安定保持できる工程標準形状です。均一ピッチのスロット構造で搬送・保管時の取り扱い性に配慮しています。洗浄済み・個包装(2重バッグ)でクリーン用途に配慮しています。PP製で軽量工程内搬送や一時保管にも扱いやすい仕様です。静電気拡散性原料を使用しており表面抵抗値は1.0×10^4～10^9Ω/sqです。

多枚数(25枚)のウェハーを安定保持できる工程標準形状です。均一ピッチのスロット構造で搬送・保管時の取り扱い性に配慮しています。洗浄済み・個包装(2重バッグ)でクリーン用途に配慮しています。PP製で軽量工程内搬送や一時保管にも扱いやすい仕様です。

少量の液体窒素の取り出しに便利です。液体窒素貯蔵容器TN-10(注文コード：28565259)、TN-20(注文コード：28565268)、TN-30(注文コード：28565277)用。