6ページ目: ウェハー/特殊ケース

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

本体・フタ共に導電性ABS製。シリコンパッキン付で気密性に優れています。本体とフタは横にスライドして簡単に脱着できる機構で、洗浄が容易に行えます。積み重ねて場所を取らずに保管ができます。

導電性ABS製の本体と、制電性ABS製のフタの組合せ。フタが透明なので、内容物の確認が行えます。シリコンパッキン付で気密性に優れています。本体とフタは横にスライドして簡単に脱着できる機構で、洗浄が容易に行えます。積み重ねて場所を取らずに保管ができます。

圧電素子、表面弾性波素子用などの各種基板として使用されます。

圧電素子、表面弾性波素子用などの各種基板として使用されます。

磁性薄膜用基板などに使用されています。

磁性薄膜用基板などに使用されています。

加熱工程、試験工程用キャリアに適しています。ポケット部は金属エッチングプロセスの為、高精度です。

耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。厚みのあるウエハが収納出来ます。

開口部が広く洗浄、水切れ、乾燥効果を高めています。

耐熱性、剛性に優れておりますので、高温処理後のウエハの収納に適しております。

超電導用基板などに使用されています。

超電導用基板などに使用されています。

天然白雲母です。成膜用基板やAFM観察用などに使用されています。

超電導用や燃料電池用基板などとして使用されています。

磁性薄膜用基板などに使用されています。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

取り出しやすく、積み重ねもできます。200mm以下のウェハータイプに適合します。

ワンハンドで、ホールド・持ち運びができます。

SCC(超純水洗浄し、クリーンパック)した商品です。

少量の液体窒素の取り出しに便利です。液体窒素貯蔵容器TN-10(注文コード：28565259)、TN-20(注文コード：28565268)、TN-30(注文コード：28565277)用。