商品豆知識
RoHS
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15～48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
仕様セットポイント：0、1、2 (モデルによる)、過圧限界：10bar、デッドボリューム：3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
材質真空接触部：タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)
質量(g)130
フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
規格CE、UKCA
出力シリアル：RS232またはRS485
ケーブル長(m)100
温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触)：150
寸法A(mm)37
精度大気圧～100hPa ±50%100hPa～1×103hPa ±15%1×103hPa～5×10-4hPa ±50%
寸法B(mm)52
寸法C(mm)11
範囲1.8～9.2V
アナログ出力0～10
再現性(%)100～1×103hPaの間で読み値の2
保護等級40
インターフェースワンプッシュ式
測定範囲(hPa)大気圧～5×104(大気圧～3.75×10-4torr)
保護機能内蔵フィルター
コネクタ電気：RJ45/9ピンD-sub
保管温度(℃)-30～70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料APG200データシート(0.82MB)
インジケータステータス：360°高輝度LEDリング
動作温度範囲(℃)5～60°
供給電圧(V)直流15～48
相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
対応ソフトウェアLabviewドライバー
接点定格直流48V (最大) 500mA
コントローラ互換性：TIC/ADC/TAG
1個
￥89,980
税込￥98,978
92日以内出荷
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点
入力電源(V)DC24、1A
測定範囲1×10-8Pa ～ 0.1Pa
電圧(V)3k～500(バイアス/最適制御)
RoHS指令(10物質対応)対応
仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0～10V × 2ch
タイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
LCDディスプレイにデジタル・アナログ値を同時に表示します。
表示単位はmbar・Torr・hPaを選択できます。
校正証明書一般校正
測定範囲1～1060hPa(mbar)
測定精度<1mbar±1digit
表示アナログ・デジタルLCD表示
表示単位mbar・hPa(真空)
測定周期(秒)1
最高許容圧力(MPa)0.15(1.5bar)
最高温度(℃)80(気体/短時間)
接続小フランジ NW16、ホースノズル外径Φ8mm・12mm(交換式 標準付属)
電池9Vアルカリ乾電池(テスト用付属)
仕様圧力変換器：電気容量式/セラミック製ダイアフラム
アズワン品番1-5118-01-56
1台
￥199,800
税込￥219,780
14日以内出荷
隔膜式圧力計は、受圧部に隔膜装置を直結させて一体とし、内部に液体を真空封入したものです。
受圧部およびブルドン管に測定流体が直接、接触しないように隔膜(ダイヤフラム)で仕切り、これに加わった圧を圧力計にスムーズに伝達させるために適した液を封入しています。
用途石油・製紙・薬品等、強腐食性流体、高粘度液体、固形物を含む流体の計測に広く用いられます。
仕様封入液：シリコン
材質(ケース)樹脂ねじ蓋ケース
材質(ガスケット)テフロン
材質(フランジ)上：S25C(Crメッキ)、下：SUS304
材質(ダイヤフラム)SUS316L
ダイヤフラム径(Φmm)76
ネジ接続タイプの隔膜式圧力計です。
仕様封入液：シリコンオイル
形状ケース：A形、指示計部：A形
区分取付スタイル：直接形
取付方式ネジ式
寸法(Φmm)指示計部:100
接続ねじG3/8
材質(ダイヤフラム)SUS316L
材質(接液部)SUS316
許容温度(℃)シリコンオイル受圧部：-40～200(但し、負圧及び連成…-5～ 45)
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力レンジ(MPa)-0.1
1個
￥69,980
税込￥76,978
30日以内出荷
2枚フランジタイプの隔膜式圧力計です。
仕様封入液：シリコンオイル
区分取付スタイル：直接形
取付方式フランジ式
接続15A-FF
材質(ダイヤフラム)SUS316L
材質(接液部)SUS316
許容温度(℃)シリコンオイル受圧部：-40～200(但し、負圧及び連成…-5～ 45)
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥79,980
税込￥87,978
30日以内出荷
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
性能蒸気用耐震形
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状埋込形(D型)
精度等級1.6
圧力範囲(MPa)-0.1～0
材質(ケース)金属ネジ蓋
材質(ねじ部)BS(一般用)
性能蒸気用耐震形
測定流体蒸気
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
性能蒸気用耐震形
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
接続T3/8
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
性能蒸気用耐震形
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
接続T3/8
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
形状埋込形(D型)
精度等級1.6
圧力範囲(MPa)-0.1～0
材質(ケース)金属ネジ蓋
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
最小目盛(MPa)-0.1
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状埋込形(D型)
精度等級1.6
圧力範囲(MPa)-0.1～0
材質(ケース)金属ネジ蓋
材質(ねじ部)BS(一般用)
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
性能蒸気用耐震形
形状埋込形(D型)
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
性能蒸気用耐震形
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
形状丸縁形(B型)
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
性能蒸気用耐震形
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
性能蒸気用耐震形
形状丸縁形(B型)
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
形状縁なし形(A型)
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
RoHS指令(10物質対応)対応
圧力範囲(MPa)-0.1～0
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
形状縁なし形(A型)
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
測定流体蒸気
最小目盛(MPa)-0.1
圧力範囲(MPa)-0.1～0
性能蒸気用耐震形
精度等級1.6
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
性能蒸気用耐震形
材質(ねじ部)BS(一般用)
測定流体蒸気
精度等級1.6
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。
形状丸縁形(B型)
精度1.6
材質(ねじ部)BS(一般用)
材質(ケース)金属ネジ蓋
圧力範囲(MPa)-0.1～0
最小目盛(MPa)-0.1
圧力指示の読み取りが容易で、取り扱いも簡単です。また、耐食性を要求される場合にも対応できます。
形状縁なし形(A型)
圧力範囲(MPa)-0.1～0
材質(ねじ部)SUS(耐蝕用)
精度1.6
最小目盛(MPa)-0.1
冷媒ロスなく1つのサービスポートのみを使用して、冷凍/空調システムやヒートポンプの真空度をホースフリーで測定可能
testo Smart App専用アプリのグラフィックイラストを介して真空を素早く検出、クリティカルな値が発生した場合に、スマートフォンの振動によりアラートを発報します。
Bluetooth経由の自動接続：プローブは、testo SmartAppまたはTestoデジタルマニホールドに接続します。 testo 557s、testo 550s マニホールドの大型ディスプレイで測定値を簡単に読み取ることもできます。
IP54の便利で頑丈なハウジング
あらゆるサービスポートに設置可能な45°の角度を装備
高品質、優れた耐久性
用途冷凍/空調システムやヒートポンプの適切な排気をサポート
仕様システム要件：iOS 12.0 以上が必要、Android 6.0以上が必要、Bluetooth(R) 4.2搭載のモバイルデバイスが必要。
付属品testo 552i 真空計、乾電池、出荷検査書
色黒/オレンジ
測定範囲0～26.66mbar、0～20000micron
質量(g)142
精度±(10micron+測定値の10%)(100～1000micron)
接続ねじ7/16" UNF
分解能1micron(0～1000micron)/10micron(1000～2000micron)/100micron(2000～5000micron)/
保護等級IP54
外形寸法(長さL×幅W×高さH)(mm)150×32×31
電池寿命(時間)39
電池単4電池×3
オートパワーオフ10 min (Bluetooth切断後)
動作温度(℃)-10～+50
保管温度(℃)-20～+50
インターフェイスBluetooth(R) 4.2
過負荷absolute:6.0bar/87psi(relative:5.0bar/72psi)
1台
￥23,980
税込￥26,378
翌々日出荷
量産システムによりコスト削減を計っておりますので非常にリーズナブルな製品です。
JIS規格に基づいて製造された、品質・性能の安定した製品です。
材質(接続部)黄銅
量産システムによりコスト削減を計っておりますので非常にリーズナブルな製品です。
JIS規格に基づいて製造された、品質・性能の安定した製品です。
材質(接続部)黄銅
LCDディスプレイにデジタル・アナログ値を同時に表示します。表示単位はmbar・Torr・hPaを選択できます。
仕様【圧力変換器】電気容量式/セラミック製ダイアフラム
種別DVR2pro
寸法(mm)115×115×56
質量(g)400
種類真空計
電源アルカリ電池(9V、006P type)
温度(℃)【最高気体】80(短時間)
精度±1hPa、±1digit(温度係数＜0.15hPa/k)
表示方式アナログ・デジタルLCD表示
接続小フランジ NW16、ホースノズル外径Φ8mm・12mm(交換式 標準付属)
測定原理静電容量式(アルミナセラミックス製)
測定周期(秒)1
測定範囲(hPa)1～1060
最高許容圧力(MPa)0.15(1.5bar)
表示単位hPa、mbar、Torr
アズワン品番1-5118-01-20
校正証明書一般校正
1台
￥199,800
税込￥219,780
14日以内出荷
接液部はすべてフッ素樹脂で、ほとんどの腐食流体、高純度流体に使用できます。用途：半導体関係・薬品関係・医療機器関係・化学工業関係・食品関係・塗装関係・高純度流体
ケース形状A枠(立型つば無し)
種類真空計
精度JIS4級程度
使用温度(℃)10～40
接続ねじPT3/8
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
USLステンレスクリーン圧力計でクラス1000対応です。
ケース形状A枠(立型つば無し)
種類真空計
径(Φmm)50
精度JIS1.6級程度
使用温度(℃)-5～45
接続ねじPT1/4
アズワン品番62-7098-39
圧力レンジ(MPa)-0.1～0
1個
￥59,980
税込￥65,978
63日以内出荷
1.0×10^-2～1.0×10^4Paの広い測定範囲です。故障に強い定温度型です。大型デジタル画面で見やすいです。小型ボディで省スペース化が可能です。
付属品センサーケーブル3m×1本、測定子(外径Φ15mm)
寸法(mm)96×120×96
種類真空計
出力制御出力/リレー接点出力(2点設定可)・容量AC100V 1A、アナログ出力/0～5V F.S.(1V/1桁)・出力インピーダンス1kΩ
使用環境5～40℃、90%以下(結露なきこと)
圧力レンジ(Pa)1.0×10-2～1.0×104
圧力・流量測定 の新着商品
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