接液部の内層は高純度PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性(純粋性・耐薬品性・非粘着性・耐熱性)を備えています。 内層にはフッ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性フッ素ポリマーを使用しています。 バリア性フッ素ポリマーは、酸(塩酸・硝酸等)・アンモ