2ページ目: グローブバルブ

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流量調整が可能。・パネルマウント可能。

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流体を閉止しやすいソフトシールタイプ。・パネルマウント可能。

ステムが接液しない独自の弁体シール構造を採用し、耐食・耐久性に優れています。 ハンドル下部に過締め防止機構と開閉インジケータを内蔵しています(15～50A)。 フランジ式には転倒防止を設け、取扱い性・配管性に配慮しています。

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。優れた耐久性400万回以上。ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

工場内のガス配管、ヘッダー等のガス取出口としてご使用下さい。BO型は右ネジ、不燃性及び支燃性ガス用に、ご使用下さい。本体は真鍮(しんちゅう)製です

・グランド部外ネジ構造。・流体を閉止しやすいソフトシールタイプ。・ボンネットレス形でコンパクト。・パネルマウント可能。

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

流体の調整や、流体を止めることに適したバルブです。