ダイヤフラムバルブ

ボディからの漏れに対してより高い信頼性 低トルクでの高いシール性 メンテナンスの作業性を向上させた新機構 設置が手軽で確実な新構造 内蔵ストッパー機能(15mm～50mm) ひと目で確認できるインジケーター表示(15mm～50mm)

接液面は耐食性に優れたプラスチック製で、ダイヤフラムによるシール構造となっています。 ゲージ管を差し込んで、袋ナットを締め込むだけで簡単にセットできます。 メンテナンスに便利なドレンプラグ付(サンプル液採取可能)

グランドレスで流体の外部への漏れ及び外気が内部に侵入することがない耐食性に優れた材質を使用流体抵抗が小さく、高粘度の液に好適上部のインジケーターで弁の開閉状態を確認できる

隔膜と堰形状の最適化により低トルクで高いシール性を発揮します。 隔膜の応力緩和の低減により外漏れに対する安全性が向上しました。 心臓部の本体とボンネットの耐圧・耐久性の向上を図りました。 ハンドルには隔膜保護の過締め防止機構と弁開度を示すインジケータを内蔵しています。 ボンネット内に雨水や埃が入らない防滴、防塵構造となっています。 フランジタイプにはフランジに転倒防止を、ユニオンタイプには底部に固定用ねじを設け、取扱い性・配管性に配慮しています。

MEGA-ONE HM・高圧タイプ マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE HMは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE HQ・MEGA-ONE HQは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90°開閉ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LM・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ-ションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LMの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。シンプル&コンパクト・パネルマウント用のナットを省略、シンプル&コンパクトバルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示付きです。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)シート材質は、 標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LS・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ(スイッチタイプ)・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。非常に操作しやすいハンドル形状です。優れた耐久性：2万回以上バルブの開閉状態が一目で確認できます。・正確な開閉状態を示す表示機構・流れ方向を示す誤操作防止機構パネルマウント対応良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラムオプションでハンドル色の変更も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LS・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ(スイッチタイプ)・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。非常に操作しやすいハンドル形状です。優れた耐久性：2万回以上バルブの開閉状態が一目で確認できます。・正確な開閉状態を示す表示機構・流れ方向を示す誤操作防止機構パネルマウント対応良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラムオプションでハンドル色の変更も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

メタルダイヤフラムバルブ・メタルダイヤフラムバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。・高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。ステンレス鋼製・16.2MPa開閉状態が一目で確認出来ます。開閉位置表示付きハンドルです。過剰締付防止機構付きです。メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LM・低圧タイプ・マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE LMは、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ-ションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示つきです。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc)オプションでハンドル色の変更も可能です.シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-MINI HM・新タイプ・高圧コンパクトマニュアルバルブ・NEW MEGA-MINI HMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。優れた耐久性2万回以上高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

高純度ガス・腐食性ガス用ダイアフラムバルブです。ガス純度99.99～99.999%のガス供給に最適です。

洗浄力が高く、コンタミのないタンクボトムバルブです。C/SIP対応で、清潔な環境をご用意します。特長・タンク底部にデットスペースができにくい形状の為、撹拌機との組合せに最適・撹拌効率が良くなり濃度ムラや未分散を起こしにくい・滞留がほとんどなく、内容物を効率よく排出可能・分解洗浄が可能・摺動部が接液していない為、バルブ内部に残留物が少なく洗浄時間が短縮・タンクへの取付は、直接溶接型とフランジ接続型の2種類

洗浄力が高く、確実なシール性でコンタミのないドレインホールバルブです。C/SIP対応で、清潔な環境をご用意します。特長・液溜まりがほとんど無く、半導体業界での洗浄工程に最適です。製薬業界、食品業界をはじめ、ドレンから発生する菌の問題を解決します。アイソレータやグローブボックス等、庫内洗浄装置にも最適です。直溶接タイプや、フランジタイプもございます。

洗浄力が高く、確実なシール性でコンタミのないドレインホールバルブです。C/SIP対応で、清潔な環境をご用意します。特長・液溜まりがほとんど無く、半導体業界での洗浄工程に最適です。製薬業界、食品業界をはじめ、ドレンから発生する菌の問題を解決します。アイソレータやグローブボックス等、庫内洗浄装置にも最適です。直溶接タイプや、フランジタイプもございます。

洗浄力が高く、コンタミのないタンクボトムバルブです。C/SIP対応で、清潔な環境をご用意します。特長・タンク底部にデットスペースができにくい形状の為、撹拌機との組合せに最適・撹拌効率が良くなり濃度ムラや未分散を起こしにくい・滞留がほとんどなく、内容物を効率よく排出可能・分解洗浄が可能・摺動部が接液していない為、バルブ内部に残留物が少なく洗浄時間が短縮・タンクへの取付は、直接溶接型とフランジ接続型の2種類