ULVAC(アルバック)の関連機器

OMT-050A専用です。

目盛は絶対圧力を示すMpa単位目盛で表示されています。

各種真空装置に用いられる油回転し空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。 使用しているエレメントは、水分・Ⅲ・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。 真空ポンプとポンプ油を長期にわたって清浄に保ち、真空ポンプの故障、オイル交換の低減をはかることが可能になります。