モータにドライバ・コントローラ・エンコーダ一体型のクールマッスルCM1を搭載しています。
RS-232Cにより、専門のプログラミング言語でモータへのプログラム、またダイレクトモードでの駆動が可能です。
顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。
標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金
質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)
種類xyステージ
表面処理黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
分解能(mm)0.002
適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
耐荷重(N)49(5kgf)
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
移動方向XY軸2方向
送り方式ボールねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.025(垂直)
移動量(mm)XY軸±100
使用モータPKP523N12A
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)40(20000pps時)
原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
RoHS指令(10物質対応)対応
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)355
テーブル幅(mm)305
耐荷重(N)49
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
付属品アルミプレート、顕微鏡対応アダプタ
適合顕微鏡/(ニコン)エクリプスL200/L200A/L200D/L200N/L200ND
質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)
表面処理(テーブル)黒アルマイト梨地
繰返し精度(mm)±0.002
センサー原点・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STM2、ACB-STM3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平)0.010、(垂直)0.025
使用モータPK523HPA相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
送りねじリード(mm)1
位置決め精度(mm)【1/10ストローク】(X軸)0.015、(Y軸)0.015、【フルストローク】(X軸)0.060、(Y軸)0.050
ロストモーション(mm)0.003
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)アルミ合金
1個
¥1,298,000
税込¥1,427,800
70日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。
RoHS指令(10物質対応)対応
セラミックス焼結法の採用により、多孔質セラミックス内部からの発塵の心配がなく、使用環境を汚染しません。
吸着面全面にわたり均一な吸着力を発生いたします。従って、穴開き真空チャックが苦手とする厚みの薄いワーク、フィルム等のワークの保持に適しています。
定盤サイズの大きなものを製作しても、多孔質セラミックスの比重はアルミニウムより小さく(比重:1.6~1.8)、軽量なので、装置等の軽量化にも役立ちます。
材質/処理多孔質セラミックス、アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
¥52,980
税込¥58,278
50日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
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