アルミプレート中央精機10日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
ガラスプレート中央精機15日以内出荷から20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。
マイクロスキャニングステージ中央精機20日以内出荷
8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
材質アルミ合金質量(kg)7.3(アルミプレートを除く)種類xyステージ表面処理黒アルマイト梨地繰返し精度(mm)±0.002分解能(mm)0.002適合ケーブルACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3耐荷重(N)49(5kgf)RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向送り方式ボールねじ移動ガイドV溝とクロスローラ移動精度(mm)真直度0.010(水平)、0.025(垂直)移動量(mm)XY軸±100使用モータPKP523N12A送りねじリード(mm)1ロストモーション(mm)0.003最高速度(mm/s)40(20000pps時)原点センサノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
ウェハホルダ 4,5,6インチ用中央精機20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用RoHS指令(10物質対応)対応
ウェハホルダ 3,4インチ用中央精機20日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合3、4インチ用RoHS指令(10物質対応)対応
吸着プレート中央精機40日以内出荷
セラミックス焼結法の採用により、多孔質セラミックス内部からの発塵の心配がなく、使用環境を汚染しません。
吸着面全面にわたり均一な吸着力を発生いたします。従って、穴開き真空チャックが苦手とする厚みの薄いワーク、フィルム等のワークの保持に適しています。
定盤サイズの大きなものを製作しても、多孔質セラミックスの比重はアルミニウムより小さく(比重:1.6~1.8)、軽量なので、装置等の軽量化にも役立ちます。
材質/処理多孔質セラミックス、アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応
ウェハホルダ 6,8インチ用中央精機50日以内出荷
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合6、8インチ用RoHS指令(10物質対応)対応
『メカニカル部品/機構部品』には他にこんなカテゴリがあります
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