3ページ目: 真空ポンプ・真空ユニット

オイルレスのため真空、加圧使用時に環境を汚しません。 1台のポンプで加圧・真空に使用でき、大変便利です。

特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

ゲーデ式の回転翼型油回転真空ポンプです。高回転で運転されるモーター直結型ですので、ベルト駆動型に比べよりコンパクトで大きな排気速度が得られる、扱いやすい真空ポンプです。排気速度50～1300(60～1500)L/minまで7機種がラインアップされており、仕様にあわせたモデルの選択が可能です(60Hz)。さらに、2段ローター型の圧縮方式がより高真空での運転を提供します。

・二段式のポンプで低い圧力で安定した性能が得られます。・排気することが難しい様々なガスも水でシールすることで安定した排気を可能にします。・排気弁の無いシンプルな構造で故障が少なく低騒音です。・多少の粉塵にも影響なく排気可能です。・標準材質はFC製ですが、オールステンレス製の製作も可能です。・また軸封部は標準グランドパッキン仕様ですが、メカニカルシールタイプにも対応可能です。・用途例：真空ミキサー 真空蒸留装置 真空滅菌装置 反応槽 乳化装置 容器成型装置 凍結乾燥装置 減圧プレス機 シート成型機 吸着搬送 含侵装置

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生 (供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止 (供給圧が確保されている場合) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

供給弁：N.O.仕様を追加。 停電/電源OFF時の真空発生※が可能 。 停電時のワーク落下を防止※。 ※供給圧が確保されている場合。IO-Link対応圧力スイッチを追加 。 一本の通信線でエジェクタ制御 。 機器情報の取込、パラメータ一括設定可能。省エネエジェクタ。 真空到達時供給エアカット：空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による)。エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較)。省エネ効果(金額換算)：93%削減。高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

ガスバラスト弁が付属していますので、オイルの凝縮性ガスによるコンタミネーションを防ぐことができます。電源の動作に対応した逆流防止電磁弁ににより、電源off時における真空ポンプ油の逆流を防止します。耐久性を重視し、理化学実験、真空設備への使用に適しています。オプションでオイルミストトラップを付属することができます。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量93%削減(メーカー測定条件による) エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) 省エネ効果(金額換算)：93%削減 高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上 供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用

このベルト駆動型油回転真空ポンプは、メーカー創業時から製造しているタイプであり、使いやすさ等お客様の立場に立った改良を加えながら、現在もメーカー主力ポンプの一翼を担っている信頼性の高いポンプです。異径プーリーによりポンプ回転数は600min^-1としており、油量も直結型に比べ多く設定しているため、丈夫で長持ちとの定評を得ております。さらに、排気速度は20～1500L/minまでの9アイテム、圧縮方式はシングル/ダブルの2タイプ、スタイルはU/T/B/Pの4タイプと、バラエティーに富んだ機種を擁し、様々な用途、環境に対応可能なシリーズとなっております。

排気音低騒音タイプです。油漏れ防止のマグネットカップリングを採用しました。

高効率(IE3)マルチ電圧モータを標準搭載しています。空冷方式のため、冷却水不要です。オイルミストトラップ(TM201・TM401)は排気ガスに含まれる油煙をトラップします。

オイルレスのため使用時に環境を汚しません。高耐久性、低振動、低騒音でメンテナンスも容易です。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

ご好評いただいておりますオイルフリースクロール真空ポンプGVSシリーズに、トップランナー規制に準拠したIE3(高効率)モーターを搭載し、GVS-500E/501E，GVS-1000Eとして新登場しました。 ポンプ部に潤滑油や封水を使用しておらず、接ガス部に軸受等一切ありませんので、完全なドライタイプで、クリーンな真空が得られ、油煙もありません。 長時間の運転でも真空度が落ちないので作業性が違います。 旋回運動のスクロールなので、やわらかな音質です。作業の手元に設置できます。 通常の使用状態であれば、メンテナンスはGVS-250で2年毎、GVS-500E/501E/1000で1年毎。日常の管理コストを低減します。

クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。 52dB(A)未満の静音性です。 最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。 ユーザーによるチップシールの交換が可能です。

クリーンなポンプ。オイルレスのため周囲環境を油汚染せず、また、特殊材質を使用しているためクリーンです。 小型・軽量・低騒音。PSLシリーズは揺動ピストン式オイルレスシリーズなので、小型・軽量・低騒音と三拍子揃ったピストンポンプです。 メンテナンスフリー。ポンプ摺動部に特殊素材を使用しているため、長期のメンテナンスフリーが実現しました。 多彩な使い分け。コンプレッサーとバキューム兼用で、コンビネーションとしても利用できます。二段引きの真空ポンプとしてさらに高真空が得られます。

有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ 自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計 大気圧からの作動が可能 シンプル構造で、メンテナンスが容易

大排気量でコンパクトサイズ。 排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計。 大気圧からの作業が可能。 シンプル構造で、メンテナンスが容易。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能