4ページ目: 真空ポンプ・真空ユニット

接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。

ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。 複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。

CEマーキング・RoHS指令標準対応品です。旧シリーズに比べ静音仕様です。無給油式のため排気利用(ブロワー仕様)の場合でも油分を含まないので、作業場や製品を油で汚しません。

大排気量でコンパクトサイズ。 排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 大気圧からの作業が可能。 シンプル構造で、メンテナンスが容易。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。 省エネ機能付真空用デジタル圧力スイッチにより、真空到達時供給エアカット：空気消費量90%削減 エジェクタの効率化により：吸込流量50%増加、：空気消費量30%削減(メーカー1段エジェクタとの比較) 小型・軽量化：体積88cm328%減：質量81g59%減

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。 省エネ機能付真空用デジタル圧力スイッチにより、 真空到達時供給エアカット：空気消費量 90%削減 エジェクタの効率化により：吸込流量 50%増加 ：空気消費量 30%削減 (メーカー1段エジェクタとの比較) 小型軽量化：体積 88cm3 28%減 ：質量 81g 59%減

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。 省エネ機能付真空用デジタル圧力スイッチにより、 真空到達時供給エアカット：空気消費量 90%削減 エジェクタの効率化により：吸込流量 50%増加 ：空気消費量 30%削減 (メーカー1段エジェクタとの比較) 小型軽量化：体積 88cm3 28%減 ：質量 81g 59%減

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。

安心設計・環境対応。 低運転音。静音化設計により3dBの低減(メーカー従来比)。 長寿命。新材質ブレードの採用により10%アップ(メーカー従来比)。

接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 モジュール設計による必要機能・組合せが可能 ダブルソレノイドによる自己保持機能 マニホールド化可能 デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能

CEマーキング対応。(04，01Bタイプ) 到達圧力での連続運転可能。 ブレード交換が容易。(KHAシリーズ比) 運転真空度が高く、エゼクターの代替えや電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適。

安心設計・環境対応!CEマーキング対応! 静音化設計により、3dBの低減(メーカー従来比)。 新材質ブレードの採用により30%アップ(メーカー従来比)。

安心設計・環境対応。CEマーキング、RoHS指令対応。 低運転音。静音化設計により3dBの低減(メーカー従来比)。 長寿命。ブレード新材質の開発により30%アップ(メーカー従来比)。

真空回路を遮断するフロートを内蔵しているため、ハウジング内に溜まったドレンの排出を怠っても真空ポンプへの流入を防ぎます。目視で内部が確認できるため、メンテナンスが簡単です。

直結型油回転真空ポンプと比べて高い耐久性と使いやすさがあります。

清音タイプとなりオフィスや静かな研究室で使っても運転音が気になりません。真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がありません。装置側に油が逆流して装置を汚す心配がありません。異電圧に別作対応です。

特殊カーボンブレードの開発により、耐久性及び低騒音を実現しました。真空・(VACUUM)排気(BLOWER)とも油分を一切含みませんので作業環境及び製品が油で汚染される心配はありません。完全無給油式ですので、給油の必要は全くなくメンテナンスフリーです。ロータリー式なので脈動の少ない安定した空気として、真空用・排気用としてご利用頂けます。50Hz・60Hz兼用です。

完全無給油式で給油の必要は全くなく、メンテナンスフリーで使用できます。

オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ガスバラスト付です。

高次元のスペックと堅牢なパーツを使用したフラッグシップモデル。最高レベルの性能と高品質を詰め込んだ大型機器対応のプロフェッショナルモデル。到達真空度0.7Pa(5ミクロン)を実現した超高真空モデル。軽量かつ高効率なブラシレスDCモーター搭載。運転停止時のオイルの逆流を防止するオイル逆流防止機能付き。ボールバルブ式でオイルの排出が簡単。大型サイトグラスでオイルレベルが簡単に視認可能。

様々な現場でパフォーマンスを発揮するスタンダードモデル。高い真空性能と信頼性のある2ステージローターを搭載。運転停止時のオイルの逆流を防止するオイル逆流防止機能付き。強制的にオイルを循環し、高効率と高耐久性を両立。