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小型ダイヤフラム真空ポンプ
フロロメカニック￥30,498～税込￥33,548～1台当日出荷から9日以内出荷特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。用途フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。幅(mm)137奥行(mm)88定格電圧(V)AC100使用限界温度(℃)40騒音値(dB(A))(50/60Hz)0耐久性耐久時間/9000時間以上
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