2ページ目: 排気・クリーン装置

クリーンルーム用キャップ

クリーン洗浄後、クラス100の高清浄度下でクリーンパックした商品です。上部と底部がフラットな形状です。

クリーン洗浄後、クラス103の高清浄度下でクリーンパックした商品です。

ファンフィルタユニットとはファンとフィルタ(HEPAフィルタ)をセットにパッケージし、フィルターを通した清浄空気を供給する製品です。 半導体製造装置、搬送装置、保管庫、簡易型クリーンルーム(クリーンブース)用途。 機外静圧 98Pa対応を実現。 消費電力低減。 電源は、単相AC100V/200V共用。 無段変速調整。 海外規格対応設計：CEマーキング対応 ファン、モータは省エネを目的としたFFU専用品を開発・採用しております。 FFU製品だけでなく、モータ、パワーサプライ等重要部品についてもトレーサビリティを管理しております。

ポータブルヒュームフード・ドラフトベンチ共通の排気ファン部品です。

工具無しでフレームを折りたたむことができますので、使用しないときは容易に収納できます。シートカバーの前面はめくり上げてマジックテープで固定できますので、楽に作業が行えます。フードで囲む事により周囲に粉塵をまき散らしません。掃除機のダクトにつなぐだけで除塵作業が可能です。カンタン組立3分

交換用抗菌・防臭HEPAフィルター

精密洗浄品の為、純水、超純水で使用可能です。PTFE系のコイルホースと比較して安価です。

小型・軽量・コンパクト。高ろ過精度。小型・高ろ過ろ過精度ながら、高流量(70L/min)。 透明ケースの為、外側からフィルタの汚れ具合を確認可能。 チューブの間に手軽に設置可能。

フォーメーションフード用のファンユニットです。フォーメーションフード本体の上に置き、付属のねじを締めるだけで簡単に設置できます。

自由自在に形状を変えられるフレキシブルダクトを利用した局所排気用ダクトファンユニットです。 オプションの活性炭ユニットを併用すればガスの吸着も行えます。 風量調整付きタイプは、排気風量を強・中・弱と3段階に調整可能で、使用状況に応じ排気抑制を行い、ファン騒音低減・消費電力抑制等ができます。

クリーンルーム用ウエア。 100デニール繊維を使用し防塵性が高まりました。 生地が強く耐久性に優れています。 総丈がやや長めです。

HEPAフィルターは空気中の微粒子を除去するために設計された高性能フィルターです。医療施設、クリーンルーム、空気清浄機など、様々な場所や機器で利用されています。当製品には、HEPA フィルター、深底メインフィルターバスケット、取付アダプター、ネジが同梱されています(ネジ径：トルクスT15)。

照明による反射・ちらつきが軽減され、細かな粉末が見やすいです。つや消し加工のため、傷がつきにくいです。

大口径のポリチューブ。様々な用途に使えます。送風機の簡易ダクト、長尺用の梱包資材、仮排水用の簡易ホース等、様々な用途にお使いいただけます。

簡易陰圧装置型式FCE-10(K)用 純正HEPAフィルター

導電性に優れたビニールレザーや樹脂の背カバー・キャスターの採用により、導電性能は10^8Ω以下を実現しました。クリーンルーム内で組み立て・清掃・梱包を行っておりますので、搬入時にも容易な清掃だけでクリーンルーム内への搬入が可能です。導電性能10^8Ω以下!クラス100対応!

特殊吸着スポンジで、極小パーツも安易に吸着可能です。接着剤で吸着しないため、対象物を汚しません。

簡単に等間隔にテープを張ることが出来ます。1枚1枚分かれているので、張り替えが楽にできます。クラス1000のクリーンルームでパッキングしています。

バンド部分は、ソフトで肌触りが良く、かつフィット性がある素材を使用しており、着用後額にゴムの跡が残らないことが女性の方に好評です。バンド部分に吸汗速乾ニットを使用しているので快適な着用感が得られます。バンド部分が額にしっかりとフィットすることにより隙間を無くし毛髪のはみ出し、落下を防止します。

光消臭繊維で人体からのケミカル汚染を制御、着用時の快適性を実現したフード一体型クリーンスーツ。ケミカル汚染ガスを吸着し、光触媒効果により吸着したガスを酸化分解します。超親水性効果により、フィルター性・通気性に優れています。

目的に応じたフードと組み合わせて使用するセットアップ自由のヒュームフード用ファンユニットです。用途に合わせて7タイプからお選びいただけます。

不織布製プレフィルターと抗菌・防臭HEPAフィルターで粉塵を取り除いて、ワークスペースから安全に排気されます。工具無しでフレームを折りたたむことができますので、使用しないときは容易に収納することができます。シートカバーの前面に窓が付いていますので、作業スペースが見やすいです。シートカバーの前面はめくり上げて面ファスナーで固定できますので、楽に作業が行えます。

コンパクト設計で持ち運びも楽に行えます。使用する薬品に合わせてフィルターを選択できます。(別売)フィルターはカートリッジ式で交換が容易です。排気ダクトへ接続する際は、オプションの外付けダクトセットを使用し、簡単にセットできます。

3層フィルタ構造で、煙に含まれる有害成分を除去します。高性能フィルタ(準HEPA)により0.3μmまでの微粒子を95%以上捕集します。活性炭フィルタにより消臭効果が期待できます。風量調節、差圧計、各種通信信号など便利なオプションが豊富です。小型、大風量、高静圧とラインナップが豊富です。

HEPAフィルター

AC100Vで使用可能。安全回路により油回転ポンプと油拡散ポンプを保護。油回転ポンプ停電復帰による停止後の自動復帰防止。モーター過負荷保護(サーマルリレー)。油拡散ポンプの異常昇温防止(バイメタル)。油拡散ポンプのヒーター過電流防止(ヒューズ)。ピラニ真空計(PT-4P)標準装備

エッチング中に発生するガスや水蒸気を除去 塩化第二鉄によるエッチング中に発生する異臭や酸を吸着します。 エッチングマシーンの排気口へピッタリ差し込め取り付けが簡単です。 乾式フィルターを採用し、フィルター交換が簡単です。 ES-F1の代用品として使用できます。

導電性の繊維により、除電しながら付着したほこりを吸引し除去します。軽量でコンパクトです。

酸欠の恐れのある場所へ空気を送り込む送風機です。