PLAZMARK Arクリーニング用 カード

色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのカードタイプです。
イオン性プラズマ検知に適しています。
O2クリーニング用では検知しきれない、イオン性のArプラズマを効率よく検知できます。
感度は超高感度、高感度、中感度、低感度の4種類からお選びください。
ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系の場合、O2クリーニング用の方が適しています。