- 材質
- 接ガス部：PPS樹脂(流路ボディ)、セラミック(回路基板)：ガスケット：ふっ素ゴム：コーティング材(回路基板上面)：シリコン系ゴム
- 質量(g)
- 約5(ケーブルを含まず)
- 使用温度範囲(℃)
- -10～60(周囲温度、計測気体温度ともに)
- 電源(V)
- DC24
- 出力
- DC1～5V(ノンリニア特性)
- 応答時間(秒)
- 0.005以下(ステップ状の流量変化に対する95%出力応答時間)
- 対象ガス
- 空気、窒素、ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト(オイルミスト)を含まない清浄気体であること。
- 使用圧力範囲(kPa)
- -100～+200(ただし圧力特性保証範囲は-70～+200)
- 流量レンジ(L/min)
- 0～3
- コネクタ仕様
- ロック機構無し、ケーブル引き出し方向：上向き
