仕様クリーン度:ISO CLASS 3(ISO14644-1)相当全長(mm)ST+288.5使用環境温度(℃)0~40吸引量エアー:30NL/min~90NL/min断面寸法(mm)本体最大断面外形:W200×H140減速方法研削ボールねじΦ20(C5級)使用環境湿度(%)35~80RH(結露なきこと)適合モータ容量(W)750適合モーター【サーボモータ】オムロン(R88M-K75030・R88M-1M75030)、パナソニック(MSMD08・MSMF08・MHMF08)繰り返し位置決め精度(mm)±0.005(片振り)