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商品豆知識
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのカードタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。感度は高感度、中感度、低感度の3種類からお選びください。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)PET
径(Φmm)(検知部)11
本体寸法(mm)20×70×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのシートタイプです。イオン性プラズマ検知に適しています。A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。感度は超高感度、高感度、中感度、低感度の4種類からお選びいただけます。
用途Ar,Heなどイオン性のプラズマ検知用。
材質【検知部】有機色材、レジン
寸法(mm)(検知部)190×290
材質(本体)PET
本体寸法(mm)210×297×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.36MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのシートタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。感度は高感度、中感度、低感度の3種類からお選びいただけます。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
寸法(mm)(検知部)190×290
材質(本体)PET
本体寸法(mm)210×297×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.36MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのラベルタイプです。イオン性プラズマ検知に適しています。感度は超高感度、高感度、中感度、低感度の4種類からお選びいただけます。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系の場合、O2クリーニング用の方が適しています。
用途Ar,Heなどイオン性のプラズマ検知用。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)PET
径(Φmm)(検知部)11
本体寸法(mm)20×70×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのカードタイプです。イオン性プラズマ検知に適しています。O2クリーニング用では検知しきれない、イオン性のArプラズマを効率よく検知できます。感度は超高感度、高感度、中感度、低感度の4種類からお選びください。ラジカル主体のプラズマや、ラジカル源となるガスとの混合系の場合、O2クリーニング用の方が適しています。
用途Ar,Heなどイオン性のプラズマ検知用。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)PET
径(Φmm)(検知部)11
本体寸法(mm)20×70×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのラベルタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。高感度、中感度、低感度の3種類からお選びください。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)PET
径(Φmm)(検知部)11
本体寸法(mm)20×70×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
高い耐熱性を実現したラベル型のプラズマインジケータ。色の変化でプラズマ処理効果を見える化できます。色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性(200℃)を実現。フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面だけでなく装置内に自由に設置し評価を行うことができます。感度は高感度と低感度の2種類からお選びいただけます。
用途高温プロセス(200℃まで)でお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)ポリイミド
径(Φmm)(検知部)10
本体寸法(mm)16×25×0.08
耐熱温度(℃)200
取扱説明書(0.22MB)
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