2ページ目: 自動ステージ

真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

動作確認や自動化アプリケーション作成、プログラム開発のサポート用ソフトウェアをご用意しています。

ACサーボモータ駆動の高精度・高剛性ステージです。

動作確認や自動化アプリケーション作成、プログラム開発のサポート用ソフトウェアをご用意しています。

高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです。

小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。

リモートアクチュエータ(SGDC)専用のコントローラとアクチュエータの切替スイッチボックスです。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。

独自のウォームギア機構により、全移動量(13mm)にわたり粗動・微動の操作が可能な製品です。コンパクトなデザインにより、装置の小型化や調整時間の削減が可能です。

ロングストローク対応のステッピング駆動対物レンズアクチュエータです。ステッピングモータを使用しているので、同社の各種コントローラに接続可能です。小型、高分解能のため顕微鏡筒やオートフォーカスシステムへの組込みに最適です。正立型、倒立型顕微鏡でご使用になれます。各メーカーの顕微鏡及び対物レンズのネジサイズに合わせ、専用アダプタ(品番：OBL-ADP3-M***)をご用意しています。※顕微鏡及び対物レンズへの取付は専用アダプタが必要になります。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量50mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

ステージ側のコネクタのみ配線してあります。お客様にてドライバをご用意する場合にご使用ください。

コントローラQT-Bシリーズと0.35Aモータを使用したステージ(□30小型ステージ、オートマイクロ)を接続するために使用する変換ケーブルです。長さは200mmになります。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。

QT-Bシリーズコントローラを使用して、ステッピングモータ駆動の自動ステージ等を動かすためのケーブルです。コントトーラ/ドライバ側のコネクタのみ配線しています。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。3m以上の特注は10mまでお受けいたします。ただし、ノイズ等の影響により、誤動作を起こすこともありますのでご注文の際はあらかじめご了承ください。

30小型ステージ(ALS-301-HM、ALD-301-HM、ALZ-301-HM、ALV-3005-HM、ARS-336-HM)をコントローラドライバQT-Bシリーズに接続するケーブルです。

ACB-RSS-2はQT-Aシリーズをシリアル通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。

電源電圧DC24Vの1軸コントローラドライバです。専用ACアダプタQT-ACを使用することでAC100Vでもご使用になれます。低振動ドライバを搭載。従来のドライバより低振動駆動を実現しました。操作ボックスQT-AKによるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232Cを標準搭載しています。汎用入出力端子、駆動パルス出力、移動/停止出力、内蔵プログラムCH選択入力など各種信号入出力により他の機器との接続が可能です。台形駆動により滑らかな加速・減速が可能なS字駆動機能を標準搭載しています。汎用入出力端子(入出力各4点/16ポート)を装備しています。電磁ブレーキ制御機能を装備しています。QT-BK(別売り)の併用により電磁ブレーキ制御が可能です。