4ページ目: 自動ステージ

自動ステージの単軸を購入後、お客様ご自身でXY軸に組合せする場合に使用する専用プレートです。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにアンギュラベアリングを使用しています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにボールウェイを使用した中精度の長作動自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

移動ガイドにV溝とクロスローラを使用した高精度の自動ステージです。 移動ガイドにはクリーンルームグリスを塗布しています。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

空間上に回転中心を持つ傾斜ステージです。 移動ガイドにV溝とクロスローラを使用しています。 カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

1軸および2軸タイプのQT-Aシリーズを手動操作するキースイッチタイプの2軸操作ボックスです。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。

空間上に回転中心を持つ傾斜ステージです。 移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用しています。 カメラ、センサなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにクロスローラベアリングを使用した回転ステージです。中心に透過穴があいています。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

QT-Aシリーズコントローラを使用して、ステッピングモータ駆動の自動ステージ等を動かすためのケーブルです。コントトーラ/ドライバ側のコネクタのみ配線しています。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。

オートマイクロコントローラはオートマイクロを駆動するための専用コントローラです。それぞれ1軸ずつ切り替えて駆動することが可能です。リミット検出に過電流リミッタを使用していますので、オートマイクロの移動両端だけではなく使用するステージなどの移動限界でもリミット停止が可能です。オートマイクロの動作スピードはボリュームにより無段階で可変します。TTL信号により外部制御の送りが可能です。

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通の標準付属アルミプレートです。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

2軸および3軸タイプのQT-Aシリーズに接続し、ジョグ移動や、ステップ移動を行うためのジョイスティックボックスです。ジョグ/ステップ移動モード切替や4通りの速度テーブル切替が可能です。

2軸および3軸のQT-Aシリーズと外部機器を絶縁接続するためのインターフェースボックスです。コントローラQT-Aシリーズと外部機器を絶縁接続することで、ノイズによる影響を軽減することが可能です。入出力は端子台構造となっているため、半田付けが不要で、外部機器を容易に配線接続することができます。

移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面が90mm×90mm、125mm×125mmそれぞれに移動量が異なるタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

機械精度を追求した超高精度の自動Xステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。