自動ステージ

5相ステッピングモータドライバを内蔵した1軸のステージコントローラです。 RS232Cインターフェイスによる外部制御と、フロントパネルのジョグスイッチ、外部I/Oによるジョグ駆動が可能です

ガイドにベアリングを採用し、送り機構にはウォームギアを使用したステッピングモータ駆動の回転ステージです。

CRUX(クラックス)は、ステッピングモータードライバ内蔵 2軸モーターコントローラ です。 CRUX-Dは、DCドライバを内蔵し小型で省電力。 モータ駆動機能に特化し新設計されたコントローラは、DCタイプで25%、ACタイプで53%の低価格化を実現! PCからの制御(RS-232C、USB2.0 Type-B)により測定器や装置等への組込みが容易です。 制御ソフト『Chamonix』for Windows10は直感的な操作をテーマにタッチパネル操作も可能なデザインになっています。 ハンディターミナル『INCOM(インコム)』(別売)を使用すればテスト運転、調整等のデバッグ動作にPC不要で操作可能 マイクロステップは、最大250分割に設定が可能、高分解能・低振動・低騒音が実現できます。 入力電源はAC90V～240Vでグローバルに対応。

手動操作、メモリ設定などを行うために必要です。

自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです

1軸および2軸タイプのQT-Aシリーズを手動操作するキースイッチタイプの2軸操作ボックスです。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。

高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

小型、高推力のDCモータ採用した安価なアクチュエータです。

コントローラQT-Bシリーズと0.35Aモータを使用したステージ(□30小型ステージ、オートマイクロ)を接続するために使用する変換ケーブルです。長さは200mmになります。

QT-Bシリーズコントローラを使用して、ステッピングモータ駆動の自動ステージ等を動かすためのケーブルです。コントトーラ/ドライバ側のコネクタのみ配線しています。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。ドライバ側切り離し接続ケーブルはステージ側のコネクタのみ配線してあります。お客様にてドライバをご用意する場合にご使用下さい。

30小型ステージ(ALS-301-HM、ALD-301-HM、ALZ-301-HM、ALV-3005-HM、ARS-336-HM)をコントローラドライバQT-Bシリーズに接続するケーブルです。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブルです。

電源電圧AC90～240V 50/60Hzの2軸コントローラドライバ(マイクロステップ0.75A/相)です。 スムースドライブ機能によりコントローラの設定を変えることなく低速時に振動を抑えた駆動が可能です。 操作ボックスQT-AKによるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。 標準添付の専用アプリケーションソフトで作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。 操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。 パソコン用インターフェースとして、RS-232C、Ethernet(LAN)を標準搭載しています。 QT-ATを併用することで、汎用入出力、駆動パルス出力、移動/ 停止出力、任意ステップパルス出力、内蔵プログラムCH選択入力、駆動パルス入力、移動開始入力、など各種信号入出力により他の機器との接続が可能です。 各軸独立制御、2軸間直線補間移動が可能です。 台形駆動より滑らかな加速・減速が可能なS字駆動機能を標準搭載しています。

自動ステージの単軸を購入後、お客様ご自身でXY軸に組合せする場合に使用する専用プレートです。

2軸と3軸のQT-AシリーズをPCと1対1でイーサネット通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

位置決め操作に必要な機能を搭載した2軸コントローラドライバです。モータ駆動電流はスイッチにより設定可能です。軸ごと異なる駆動電流値のステージを混在接続できます。低振動マイクロステップドライバを搭載。全速度領域で従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました。操作ボックスQT-AKによるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232Cを標準搭載しています。各軸独立制御、2軸間直線補間移動・2軸間円弧補間移動が可能です。台形駆動より滑らかな加速・減速が可能な

位置決め操作に必要な機能を搭載した2軸コントローラドライバです。モータ駆動電流はスイッチにより設定可能です。軸ごと異なる駆動電流値のステージを混在接続できます。低振動マイクロステップドライバを搭載。全速度領域で従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました。操作ボックスQT-AKによるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232Cを標準搭載しています。各軸独立制御、2軸間直線補間移動・2軸間円弧補間移動が可能です。台形駆動より滑らかな加速・減速が可能な

各種ドライバです。

ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。

真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。

本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

動作確認や自動化アプリケーション作成、プログラム開発のサポート用ソフトウェアをご用意しています。