5ページ目: 自動ステージ

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

QT-Aシリーズコントローラを使用して、ステッピングモータ駆動の自動ステージ等を動かすためのケーブルです。コントトーラ/ドライバ側のコネクタのみ配線しています。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のガラスプレートです。標準付属のアルミプレートと交換することにより透過照明に対応いたします。

オートマイクロコントローラはオートマイクロを駆動するための専用コントローラです。それぞれ1軸ずつ切り替えて駆動することが可能です。リミット検出に過電流リミッタを使用していますので、オートマイクロの移動両端だけではなく使用するステージなどの移動限界でもリミット停止が可能です。オートマイクロの動作スピードはボリュームにより無段階で可変します。TTL信号により外部制御の送りが可能です。

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

オートマイクロは電動のマイクロメータヘッドです。径・長さともに、非常にコンパクトです。メーカーの手動ステージ等に使用しているマイクロメータヘッドと取り付け互換性があります。スピンドルキャップの交換で先端平面、先端球面を選択できます。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。

2軸および3軸タイプのQT-Aシリーズに接続し、ジョグ移動や、ステップ移動を行うためのジョイスティックボックスです。ジョグ/ステップ移動モード切替や4通りの速度テーブル切替が可能です。

2軸および3軸のQT-Aシリーズと外部機器を絶縁接続するためのインターフェースボックスです。コントローラQT-Aシリーズと外部機器を絶縁接続することで、ノイズによる影響を軽減することが可能です。入出力は端子台構造となっているため、半田付けが不要で、外部機器を容易に配線接続することができます。

移動ガイドにV溝とクロスローラを採用した高精度Z昇降ステージです。ステージ面が90mm×90mm、125mm×125mmそれぞれに移動量が異なるタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールブッシュを使用した中精度の自動ステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

機械精度を追求した超高精度の自動Xステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動ステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。15mm移動と50mm移動のタイプがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

移動ガイドにボールウェイを使用した長作動自動XYステージです。 各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。 原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。 ステッピングモーターαSTEPの採用により応答性の高い、高速な位置決めが可能です。 ステッピングモーターα用ドライバ(オリエンタルモーター社製)が付属します。

機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

20mm角の5相ステッピングモータを採用した小型の自動ステージです。移動ガイドにV溝とクロスローラを採用し非常に高精度な移動が可能です。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

旧QTシリーズをUSB通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。

コントローラQT-Aシリーズの非常停止入力端子(Emergency)に接続して使用する非常停止スイッチです。入出力は端子台構造となっているため容易に接続することができます。非常停止ボタンが押されると非常停止入力となり、ボタンを右回転させると解除されます。使用時はコントローラ本体のDipSW(ディップスイッチ)で非常停止機能を有効に設定してください。コントローラ本体側の非常停止解除方法は、「パラメータNo．54」の設定により「電源再投入」または操作ボックスの「STOPキーの使用」、通信の「RESTAコマンド」または「RESETコマンド」になります。

QT-ADM3、QT-ADM3-35を手動操作するキースイッチタイプの3軸操作ボックスです。

小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。 メーカーの手動ステージやミラーホルダーのマイクロメータヘッドを交換することで自動化できます。 メーカーのステッピングモータコントローラで駆動することができます。

動作確認や自動化アプリケーション作成、プログラム開発のサポート用ソフトウェアをご用意しています。 自動位置・姿勢決め装置や計測器の制御がExcelマクロやVisualBasicで簡単にプログラムできるソフトです。 VisualBasicやExcelマクロでのプログラミングを容易にするためのActiveXコントロールです。 同封の技術書はExcelマクロやVisualBasicによる計測・制御における簡単なプログラミングの入門書としても活用することができます。 お客様仕様でプログラムを開発して頂くため、測定条件の変更があったとき等に仕様変更が自由に行えます。 ステージ制御に関するプログラミング労力を大幅に軽減することができます。 ファイバの調芯等の様に、測定結果により動作の制御を変更させるという処理が可能です。 RS232C※/GP-IB※/USB※/インターフェイスをサポートしています。 Windows(R)95/98(SE)/Me/2000/XP/Vistaに対応しています。 SFSコントローラFINE-501/502/503用としてSGSFSX、1軸ステージコントローラPAT-001用としてSGPATXを別途ご用意しております。