2ページ目: 自動ステージ

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

自動ステージとコントローラまたはドライバ間の接続ケーブルです。

小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。

リモートアクチュエータ(SGDC)専用のコントローラとアクチュエータの切替スイッチボックスです。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。

最大19mmの粗動と高分解能の調整を兼ね備えたコンパクトな差動マイクロメーターヘッドです。

手動ステージに使用しているマイクロメーターヘッドの取り付け部分と互換性を持った製品です。

独自のウォームギア機構により、全移動量(13mm)にわたり粗動・微動の操作が可能な製品です。コンパクトなデザインにより、装置の小型化や調整時間の削減が可能です。

マイクロメーターヘッドを取り外す場合や締付けを行う場合に必要な専用工具です。

手動ステージ、ホルダーなどに使用している粗粗微動マイクロメーターヘッドです。

手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。

手動ステージ、ホルダーなどに使用している移動量15mm以下のマイクロメーターヘッドです。

ロングストローク対応のステッピング駆動対物レンズアクチュエータです。ステッピングモータを使用しているので、同社の各種コントローラに接続可能です。小型、高分解能のため顕微鏡筒やオートフォーカスシステムへの組込みに最適です。正立型、倒立型顕微鏡でご使用になれます。各メーカーの顕微鏡及び対物レンズのネジサイズに合わせ、専用アダプタ(品番：OBL-ADP3-M***)をご用意しています。※顕微鏡及び対物レンズへの取付は専用アダプタが必要になります。

位置決め操作に必要な機能を搭載した2軸コントローラドライバです。モータ駆動電流はスイッチにより設定可能です。軸ごと異なる駆動電流値のステージを混在接続できます。低振動マイクロステップドライバを搭載。全速度領域で従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました。操作ボックスQT-AKによるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232Cを標準搭載しています。各軸独立制御、2軸間直線補間移動・2軸間円弧補間移動が可能です。台形駆動より滑らかな加速・減速が可能な S字駆動機能を標準搭載しています。電磁ブレーキ制御機能を装備しています。QT-BK(別売り)の併用により電磁ブレーキ制御が可能です。

位置決め操作に必要な機能を搭載した2軸コントローラドライバです。モータ駆動電流はスイッチにより設定可能です。軸ごと異なる駆動電流値のステージを混在接続できます。低振動マイクロステップドライバを搭載。全速度領域で従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました。操作ボックスQT-AKによるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232Cを標準搭載しています。各軸独立制御、2軸間直線補間移動・2軸間円弧補間移動が可能です。台形駆動より滑らかな加速・減速が可能な S字駆動機能を標準搭載しています。電磁ブレーキ制御機能を装備しています。QT-BK(別売り)の併用により電磁ブレーキ制御が可能です。

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。

移動量300mm×300mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

8インチ対応の移動量200mm×200mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量100mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

4インチ対応の移動量100mm×100mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

移動量50mm×50mmの薄型軽量ステージです。顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。

ステージ側のコネクタのみ配線してあります。お客様にてドライバをご用意する場合にご使用ください。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。3m以上の特注は10mまでお受けいたします。ただし、ノイズ等の影響により、誤動作を起こすこともありますのでご注文の際はあらかじめご了承ください。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。

コントローラ/ドライバとステージを接続するケーブル類です。耐屈曲性・耐ねじれ性に優れたロボットケーブルを使用していますのでケーブルを引き回す環境の多い箇所での使用に最適です。

ACB-RSS-2はQT-Aシリーズをシリアル通信制御する場合に使用します。このケーブルは規格に準じた一般的な仕様のものです。