バルブ

継手付構造です。軽量・コンパクトです。

一般汎用型。 ソフトシール(Oリング)およびメタルタッチでのダブルシールを採用することによりゼロリーク及び長寿命を達成。 スプリング材質SUS316標準採用。 7kPa(0.07kgf/cm²)の低クラッキング圧力を標準採用することにより、圧力損失の低減。

圧力区分を細分化し、超精密仕上げを実現 調節ばねはステンレス製(SUS304)で長寿命 要部(弁体、弁座)はSCS14Aで耐食性に優れています 密閉形構造の為、外部漏れなし

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流量調整が可能。・パネルマウント可能。

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流体を閉止しやすいソフトシールタイプ。・パネルマウント可能。

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。優れた耐久性400万回以上。ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

開度は10度刻みで任意の位置に固定できます。 開閉操作は手動レバー式で簡単にできます。

NEW MEGA-ONE LS・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ(スイッチタイプ)・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。非常に操作しやすいハンドル形状です。優れた耐久性：2万回以上。バルブの開閉状態が一目で確認できます。・正確な開閉状態を示す表示機構・流れ方向を示す誤操作防止機構。パネルマウント対応。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)。高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム。オプションでハンドル色の変更も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

BWシリーズ用ダイヤフラム消耗品。消耗品。

4.90MPa対応です。 パネルマウント対応です。 軽量・コンパクトです。 継手付構造です。