バルブ

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブ・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し、また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。ステンレス鋼製・16.2MPa。ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE HM・高圧タイプ マニュアルオペレーションバルブ・MEGA-ONE HMは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE HQ・MEGA-ONE HQは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90°開閉ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。バルブの開閉状態が一目で確認できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム。良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc)。シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

メタルダイヤフラムバルブ・メタルダイヤフラムバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。・高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。ステンレス鋼製・16.2MPa。開閉状態が一目で確認出来ます。開閉位置表示付きハンドルです。過剰締付防止機構付きです。メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

ボディは堅牢な鍛造仕上げ。ボンネットレス形でコンパクト。流量調整が可能。パネルマウント可能。